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非标设备

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  • 发布日期:2017/11/17
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主要规格

1)整机外形尺寸1133W*1024D*1919H(MM)

2)反应仓腔体尺寸450W*450D*450H(MM)

3)电源:380V(10%正负误差)工频三相五线

4)射频电源频率:低频LF,40-120K变频配合匹配器

功率:1000W(MAX)

(5)真空泵:鲍斯真空泵+罗茨泵

(6)配置气体:氢气(H2)5%,氩气(AR)95%混合,工业气体由使用厂家自行外购,在购置瓶装气体的时候,请气体供应商为钢瓶配置减压阀。

(7)整机功率<5KW

(8)PLC(SIMENZI)程序控制,触控式显示面板控制,操作方式分自动和手动可选,同时可储存50种配方清洗模式,任意调用。自动模式用于设备正常工作,手动模式用于设备调试及维护。

(9)单次清洗时间<300S(一般射频工作时间180S)


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